电子束气相沉积(EBPVD)的研究进展  

作　　者：赖奇[1] 

机构地区：[1]攀枝花学院机钛学院

出　　处：《攀枝花科技与信息》2022年第2期46-50,共5页

摘　　要：本文介绍了材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制并简要论述硬件条件,以便为钢钛复合板等新材料的制备提供新的思路和方法。

关 键 词：电子束 真空 镀钛 

分 类 号：TF1[冶金工程—冶金物理化学]