超声加工技术的应用及发展趋势  

Applications and development trend of ultrasonic machining technology

作　　者：许超 袁信满 关艳英 庄百亮 查慧婷 龚涛 王健健[8] 张翔宇 马原 赵学奇 Xu Chao

机构地区：[1]清华大学深圳国际研究生院先进制造学部,广东深圳518055 [2]深圳市青鼎装备有限公司,广东深圳518100 [3]航空工业成都飞机工业(集团)有限责任公司,四川成都610031 [4]中航西安飞机工业集团股份有限公司,陕西西安710089 [5]中国机械总院集团江苏分院有限公司,江苏常州213164 [6]厦门理工学院机械与汽车工程学院,福建厦门361024 [7]深圳职业技术学院超声技术研究所,广东深圳518055 [8]清华大学机械工程系,北京100084

出　　处：《金属加工（冷加工）》2022年第9期1-6,共6页MW Metal Cutting

摘　　要：主要围绕工业应用需求角度介绍超声加工技术的发展概况、研究现状及未来发展趋势等。超声加工技术是一种面向难加工材料(硬脆材料、复合材料、难加工金属材料等)的特种加工技术,在航空航天、汽车、半导体、3C和医疗等领域存在着广阔的应用前景。超声加工技术可通过超声振动能量实现难加工材料的精密去除。近年来,在国内外众多高校、研究院所和企业的共同努力下,超声加工技术得到了快速发展,实现了在多类难加工材料精密加工场景的大量典型应用。超声加工技术作为先进制造技术中特种加工技术的代表,将为制造业水平的提升提供重要支撑。

关 键 词：超声加工 难加工材料 驱动控制 超声频率 加工工艺 

分 类 号：TB559[理学—物理]