激光准直测量法校准平尺的应用与探讨  

作　　者：王树刚 刘渊伟 沈斌 

机构地区：[1]江苏省无锡市检验检测认证研究院 [2]杭州光尺科技有限公司

出　　处：《中国计量》2022年第12期115-118,共4页China Metrology

摘　　要：一、测量仪器原理及其计量特性1.测量原理PSD(Position Sensitive Device,位置敏感器件)基于非均匀半导体的横向光电效应的工作原理(见图1),是一种能测量光点在探测器表面上连续位置的光学探测器。PSD由形成在高电阻率半导体衬底的一个或两个表面上的均匀电阻层和形成在电阻层两端用于提取位置信号的一对电极组成。

关 键 词：电阻层 计量特性 位置信号 光学探测器 位置敏感器件 测量仪器 横向光电效应 应用与探讨 

分 类 号：TH71[机械工程—测试计量技术及仪器]