磷及铟提纯方法研究进展  

Progress on the Purification Methods of Phosphorus and Indium

在线阅读下载全文

作  者:文家俊 吴尧 伍美珍 彭巨擘 白海龙 张家涛 郑红星[1] WEN Jiajun;WU Yao;WU Meizhen;PENG Jubo;BAI Hailong;ZHANG Jiatao;ZHENG Hongxing(School of Materials Science and Engineering,Shanghai University,Shanghai 200444,China;Research&Development Center,Yunnan Tin Group(Holding)Limited Company,Kunming 650032,China)

机构地区:[1]上海大学材料科学与工程学院,上海200444 [2]云南锡业(控股)有限公司研发中心,昆明650032

出  处:《材料导报》2022年第S02期90-94,共5页Materials Reports

基  金:国家自然科学基金(52074180);云南省重大科技专项(202002AB080001-2)。

摘  要:随着微电子信息通讯及半导体等尖端科技的迅猛发展,工业界对磷和铟高纯原料的需求量急剧增加,同时对其纯度的要求愈加苛刻。本文综述了这两类材料提纯技术的研究进展,并从材料科学、提纯技术及研究方法三方面对其未来发展提出了一些建议。With the rapid development of microelectronics information communication,semiconductors and other cutting-edge technologies,the industrial demand for high-purity raw materials of both phosphorus and indium has been largely increased,and meanwhile,the requirement for elemental purity is becoming more stringent.The research progress on the purification methods of these two elements was summarized in the present work.Some comments for future exploration are put forward from three aspects:materials science,purification technology and analysis approach as well.

关 键 词:高纯材料 真空蒸馏 电解精炼 垂直区熔 

分 类 号:TF114[冶金工程—冶金物理化学]

 

参考文献:

正在载入数据...

 

二级参考文献:

正在载入数据...

 

耦合文献:

正在载入数据...

 

引证文献:

正在载入数据...

 

二级引证文献:

正在载入数据...

 

同被引文献:

正在载入数据...

 

相关期刊文献:

正在载入数据...

相关的主题
相关的作者对象
相关的机构对象