集成分布式布拉格反射镜的氮化镓基发光二极管研究  

作　　者：蔡玮[1,2] 

机构地区：[1]南京邮电大学,江苏南京210003 [2]南京工程学院,江苏南京211167

出　　处：《新型工业化》2022年第11期160-163,共4页The Journal of New Industrialization

基　　金：中国博士后科学基金面上项目“基于表面等离激元增强的可转移高速光子通信芯片研究”(项目编号:2020M681683);南京工程学院科研基金项目“硅衬底氮化镓基同质集成光电子芯片关键技术研究”(项目编号:ZKJ202004)。

摘　　要：基于硅基氮化镓晶圆,制备了一种半环波导型发光二极管。采用聚焦离子束技术,在发光二极管两侧端部刻蚀形成高反型GaN层/空气层分布式布拉格反射镜。实验结果表明,该波导型发光二极管具有良好的光电性能,集成的分布式布拉格反射镜显著提高了器件端面的反射率,改变了器件内部的法布里-珀罗振荡,对出射光子进行了有效调控。使用该发光二极管作为光信号源的无线光通信系统实现了100Kbps的信号传输,验证了器件在可见光通信领域的应用潜力。

关 键 词：硅基氮化镓 发光二极管 分布式布拉格反射镜 可见光通信 

分 类 号：TN911[电子电信—通信与信息系统]