耐高温宽频、超高声压噪声传感器件及应用关键技术研究  

作　　者：郑永秋[1,2] 李圣昆 薛晨阳[1,2] 张文栋 白建东[1,2] 刘东海 

机构地区：[1]中北大学 [2]太原市华纳方盛科技有限公司

出　　处：《中国科技成果》2023年第1期57-59,共3页China Science and Technology Achievements

摘　　要：航空航天重型、大推力运载装置,其工作过程产生的超高声压级噪声,最大声压级可达180,dB,且在频域上包含了次声波、声波、超声波各种分量,其环境常常伴有辐射高温.其中,高声压噪声会严重破坏飞行器结构、载荷、精密电子器件,是重型、大推力运载装置飞行过程的重大安全隐患.在国家自然科学基金、山西省基础研究计划项目、装备预先研究基金及企业技术开发等项目支持下,提出并完成了基于法布里-珀罗腔光学谐振效应的无振膜噪声传感新方法的研究,突破了声传感测试由传统"声-机械-压(光)-电"到"声-光-电"探测新模式的转变.开发了耐高声压全固态微型法布里-珀罗腔MEMS制造工艺,突破了谐振光束声波调制的信号检测与传输技术,构建了宽频、超高声压噪声测试系统,解决了航空航天高温等恶劣环境宽频、超高声压噪声测试技术难题.

关 键 词：噪声测试 最大声压级 企业技术开发 国家自然科学基金 航空航天 信号检测 高声压 次声波 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]