新型三维动态光学显微镜  

作　　者：肖晨 

机构地区：[1]不详

出　　处：《西安工业大学学报》2023年第1期96-96,共1页Journal of Xi’an Technological University

摘　　要：西安工业大学田爱玲团队自主设计、研发的新型三维动态光学显微镜,基于目前的动态观察显微镜和测量用的扫描三维显微镜的应用现状,采用数字全息技术原理,记录携带有被观测物体轮廓或相位信息的单帧数字全息干涉图,利用计算机数值重建算法对所记录的全息图进行数值重建获得被观测物体的相位和振幅信息,从而完成被测物体三维形貌的重构,达到非接触、全场、动态观察、测试、记录和存储的功能。最终研制三维动态光学显微镜样机获得国家外观专利许可(ZL201830159740.9),实现了微观形貌的纳米级测量、并可延伸至动态测试,其主要技术指标有:①空间采样为1280*1024;②横向分辨率为0.5μm;③纵向分辨率为5 nm.

关 键 词：三维动态 物体轮廓 数字全息技术 专利许可 横向分辨率 三维形貌 西安工业大学 数值重建 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]