平面等厚干涉仪数显化改造  

Digital Display Transform of Plane Equal Thickness Interferometer

作　　者：颜蓉 张改革[2] 胡志刚 YAN Rong;ZHANG Gai-ge;HU Zhi-gang

机构地区：[1]江西省检验检测认证总院计量科学研究院,南昌330027 [2]许昌市质量技术监督检验测试中心,河南许昌461000

出　　处：《精密制造与自动化》2022年第4期27-29,64,共4页Precise Manufacturing & Automation

摘　　要：介绍了一种应用高分辨率工业相机及图像处理技术改造传统的平面等厚干涉仪,在保留平面等厚干涉仪原有光路系统且确保其能输出准确的干涉条纹的前提下,仅对读数部分和数据处理部分进行改造,利用图像处理软件对图像进行自动识别和数据处理,实现平晶干涉条纹图象自动采集处理、平晶检定数据自动化存储处理,并对装置的测量不确定度进行评定。

关 键 词：工业相机 平面等厚干涉仪 MATLAB语言 测量不确定度评定 

分 类 号：TP391.41[自动化与计算机技术—计算机应用技术] TH744.3[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]