对三氟化氮几种制备技术和纯化技术的探讨分析  

作　　者：郭金森 

机构地区：[1]福建三化元福新材料有限公司,福建三明365000

出　　处：《中国石油和化工标准与质量》2023年第2期156-158,共3页China Petroleum and Chemical Standard and Quality

摘　　要：三氟化氮是微电子产业中使用的特种气体,是电子刻蚀气主要产品,主要用于生产半导体芯片、液晶平板显示器及光伏电池等。本文介绍了三氟化氮气体的特性,对其几种制备技术、纯化、精馏技术进行了分析和探讨。

关 键 词：三氟化氮 氟气直接反应 熔盐电解 低温精馏 化学吸收 化学转化 

分 类 号：TQ126[化学工程—无机化工]