大口径反射镜精密装校工艺过程的质量管控  

作　　者：易聪之 叶朗[1] 全旭松 曹庭分[1] 张尽力[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900

出　　处：《化学工程与装备》2022年第12期191-194,共4页Chemical Engineering & Equipment

摘　　要：大口径反射镜作为高功率固体激光装置中的光传输模块,其装校性能主要体现在其装校后的光学元件表面洁净度和光学元件反射波前畸变(即面形PV)。本文从人、机、料、环、法、测等方面出发,梳理了大口径反射镜光机装校工艺过程中的满足其光学性能和表面洁净度性能的质量控制要求,为复杂光机系统中的光学元件洁净精密装校工艺过程的质量管控提供参考与借鉴。

关 键 词：反射镜 质量管控 面形畸变 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]