检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:赖永生 Lai Yong-sheng
机构地区:[1]深圳市杰诺特精密技术有限公司,广东深圳518000
出 处:《今日自动化》2023年第1期146-148,共3页Automation Today
摘 要:半导体智能设备是半导体产业的支柱,主要应用于IC制造(前道设备)、IC封测(后道设备)两大领域。我国半导体设备市场规模现已处在世界第一的位置。文章对半导体智能设备行业现状及市场发展要求进行论述。Semiconductor intelligent equipment is the pillar industry of semiconductor industry,which is mainly used in IC manufacturing(front-end equipment)and IC sealing and testing(back-end equipment).China's semiconductor equipment market size is now in the first place in the world.This paper will discuss the development requirements of semiconductor intelligent equipment market.
分 类 号:TN304.24[电子电信—物理电子学]
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