基于HTCC工艺的瓦斯传感器设计与制备  

作　　者：李丰[1] 邹志辉 钱丽勋[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,河北省石家庄市050051

出　　处：《电子技术与软件工程》2023年第2期73-76,共4页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

摘　　要：本文针对传统丸珠状瓦斯传感器一致性差、成品率低以及MEMS瓦斯传感器催化剂负载率低等问题,基于HTCC工艺制备了一种平板式瓦斯传感器,提高了催化剂的负载率以及解决了传感器批量化制备及成品率低的问题。并通过在颗粒氧化铝载体中掺杂碳纳米管,提高了载体的催化剂负载率和热导率,使传感器获得更高的灵敏度和响应速度。为高灵敏度瓦斯传感器批量化制备提供了一种参考,具有较好的应用前景。

关 键 词：催化传感器 HTCC 碳纳米管 

分 类 号：TD712.55[矿业工程—矿井通风与安全] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]