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机构地区:[1]广东工业大学机电工程学院,广东广州510006 [2]广东捷成科创电子股份有限公司,广东肇庆526060
出 处:《机电信息》2023年第8期48-51,55,共5页
基 金:肇庆市西江创新创业团队;佛山市科技创新团队项目(FS0AA-KJ919-4402-0023)。
摘 要:采用MgO-Y_(2)O_(3)作为烧结助剂,利用光固化成形技术、结合气压烧结方法制备了高致密化程度和高性能的Si_(3)N_(4)陶瓷。研究了Mg O-Y_(2)O_(3)烧结助剂总掺量对光固化成形Si_(3)N_(4)陶瓷的相对密度、物相组成、显微结构、热学和力学性能的影响。研究结果表明,随着Mg O-Y_(2)O_(3)烧结助剂总掺量的增加,光固化成形Si_(3)N_(4)陶瓷的相对密度和平均晶粒尺寸逐渐增大,总掺量为10wt%时,达到最大值,分别为99.01%和0.82μm;而热导率和抗弯强度均呈先增大后降低的变化趋势,并在8wt%达到最大值,分别为59.58 W·m^(-1)·K^(-1)和915.54 MPa。
关 键 词:Si_(3)N_(4)陶瓷 光固化成形 烧结助剂 显微结构 性能
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