半导体生产“血液”TOP10背后  

作　　者：《中国电子商情》编辑部 

机构地区：[1]不详

出　　处：《中国电子商情》2022年第11期37-39,共3页China Electronic Market

摘　　要：提起电子特种气体(电子特气),大多数人会感到较为陌生,但是其实作为半导体生产的“血液”,在此前的俄乌冲突中,电子特气赚足了眼球。资料显示,乌克兰供应的氛气约占全球70%,在半导体制程当中,氛气可用于KrF镭射曝光;除了氛气,乌克兰也供应全球约40%氪气,氪气同样用于KrF镭射,两者皆与曝光制程密切相关。此外,乌克兰亦生产氙气,供应量约占全球30%,用于半导体蚀刻制程。

关 键 词：半导体生产 电子特气 特种气体 TOP10 氪气 乌克兰 制程 供应量 

分 类 号：F41[经济管理—产业经济]