超高纯氮气纯化设备在磨具行业中的应用  

作　　者：于志日 李楠 安勋 杜霞茹 徐卫 侯蕾 肖菲 吴熠 李宏涛 

机构地区：[1]大连凯特利催化工程技术有限公司 [2]大连圣迈化学有限公司,辽宁大连116085

出　　处：《化学工程与装备》2023年第2期207-208,共2页Chemical Engineering & Equipment

摘　　要：高纯氮作为冷却气和保护气,广泛应用于电子、半导体、多晶硅和磨具加工等行业。制备高纯氮通常采用空气分离方法,利用氮气和氧气沸点不同,使空气中的氮气和氧气分离,制得的氮气再经过纯化,得到符合要求的高纯氮。本纯化设备内装填O-345M脱氧剂、13X分子筛和PEN高效脱氧剂,普通氮气通过补氢脱氧、吸附脱水和残存氧脱除,达到氧含量、水含量均小于1ppm的要求,实现氮气纯化。设立A、B两个干燥塔,方便工作和再生的需要,保证吸附效果。

关 键 词：高纯氮 保护气 补氢脱氧 纯化 模具加工 

分 类 号：TQ116.15[化学工程—无机化工]