编者按  

出　　处：《真空科学与技术学报》2023年第3期I0003-I0003,共1页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

摘　　要：半导体在集成电路、消费电子、移动通信、固态照明、绿色能源、医疗卫生、国防军工等重大领域及人工智能、量子信息、物联网、大数据、云计算等新兴领域应用广泛。半导体行业是国民经济的支柱产业之一,已被列为国家战略性新兴产业。全球半导体市场年产值已接近万亿美元。不断增长的市场需求对半导体器件的性能、功能、能耗、尺寸、稳定性、可靠性、集成度、良率、成本和产量等提出了更高的要求。半导体材料的外延是器件制备的基础所在,也是器件实用化的关键环节。为满足高能效半导体器件的研发需求,半导体材料的外延必须实现晶体质量、位错密度、缺陷密度、应力状态、掺杂浓度、微观结构、化学组成等的精准调控。基于此,金属有机物化学气相沉积(MOCVD)和分子束外延(MBE)已成为化合物半导体材料及其器件结构的主流外延技术。

关 键 词：半导体市场 战略性新兴产业 国防军工 支柱产业 半导体材料 外延技术 半导体器件 晶体质量 

分 类 号：TN30[电子电信—物理电子学]