15000m^(3)/h超高纯电子级氮气制取工艺设计  

作　　者：彭伟民 

机构地区：[1]广钢气体(深圳)有限公司

出　　处：《深冷技术》2023年第2期16-20,共5页

摘　　要：介绍广钢气体研发的适用于芯片、半导体行业的15000m^(3)/h超高纯电子级制氮设备的工艺流程特点、工艺设计、技术要求和性能考核程序。该制氮设备通过性能考核测试,单位产品能耗为0.226kW·h/m^(3)。

关 键 词：制氮设备 超高纯电子级氮气 制取工艺 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]