全面气体管理在电子特气应用领域的作用  

作　　者：孙文定 

机构地区：[1]广州广钢气体能源股份有限公司

出　　处：《深冷技术》2023年第2期60-62,共3页

摘　　要：随着半导体行业的快速发展,电子特气的应用领域越来越广,针对电子特气的危险性,全面气体管理(TGM)团队应运而生,保障客户现场运维。介绍了TGM团队的现状、作用和优势。

关 键 词：电子特气 TGM团队 作用 优势 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]