MEMS加速度传感器及压电式加速度传感器失效机理的分析  

Analysis on Failure Mechanism of MEMSAccelerometers and Piezoelectric Accelerometers

作　　者：李绍凯 LI Shaokai(The 49th Research Institute of CETC,Heilongjiang 150009,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江150009

出　　处：《电子技术（上海）》2023年第3期12-13,共2页Electronic Technology

摘　　要：阐述MEMS加速度传感器和压电式加速度传感器的原理,包括压阻式和电容式的加速度传感器、探讨失效模式、失效机理,给出避免失效的方法。This paper describes the principles of MEMS acceleration sensors and piezoelectric acceleration sensors,including piezoresistive and capacitive acceleration sensors,discusses failure modes and mechanisms,and provides methods to avoid failures.

关 键 词：加速度传感器 失效模式 结构分析 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]