中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司  

出　　处：《人工晶体学报》2023年第5期930-930,共1页Journal of Synthetic Crystals

摘　　要：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(以下简称“沈阳科仪”)创建于1958年,总部位于辽宁省沈阳市浑南区,是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地,先后组建了“国家分子束外延技术开发实验基地”“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程研究中心”等科研平台。

关 键 词：科研平台 工程技术研究中心 中国科学院 真空仪器 分子束外延技术 科学仪器 辽宁省沈阳市 开发实验 

分 类 号：F426.6[经济管理—产业经济]