集电工艺废气处理技术发展及次生问题研究  

作　　者：林子尘 

机构地区：[1]上海达恩贝拉环境科技发展有限公司,上海200120

出　　处：《资源节约与环保》2023年第5期101-104,共4页Resources Economization & Environmental Protection

摘　　要：中国集成电路行业发展迅速,使用的电子化学气体数量在近年大量增加,其生产工艺流程复杂,大量特殊气体的使用使得治理手段有了一些新特征。集成电路行业工艺废气的处理技术发展与次生问题研究将根据典型工艺讲述废气来源和治理手段,以及产生的衍生问题,探讨后续发展的技术方向。

关 键 词：集成电路制造 工艺废气 处理技术 问题 

分 类 号：X76[环境科学与工程—环境工程]