检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
出 处:《中国粉体工业》2023年第3期50-53,45,共5页China Powder Industry
摘 要:半导体产业是构建我国战略科技力量的核心支撑产业,而半导体零部件则是决定我国半导体产业高质量发展的关键领域。一般而言,半导体设备零部件占设备总支出的70%左右,以刻蚀机为例,主要关键部件占设备总成本的85%。那么,为什么半导体设备及零部件在半导体领域中如此重要?
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