旗形光学面形仪  

Flag-type Optical Surface Profiler FSP-01s

出　　处：《中国科学院院刊》2023年第S01期16-16,共1页Bulletin of Chinese Academy of Sciences

摘　　要：主要技术与性能指标,测量口径:1000 mm,测量重复精度:17 nrad,平面测量精度:25 nrad,曲面测量精度:32 nrad,平曲面第三方比对测量精度:0.1 nm主要应用,用于大尺寸光学表面面形的超高精度测量,代表性应用成果,解决了高能同步辐射光源建设中对超高精度光学检测的核心技术问题。

关 键 词：重复精度 光学检测 曲面测量 比对测量 同步辐射光源 核心技术问题 超高精度 表面面形 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]