有机、无机薄膜沉积设备  

Organic and Inorganic Film Deposition Equipment

出　　处：《中国科学院院刊》2023年第S01期46-46,共1页Bulletin of Chinese Academy of Sciences

摘　　要：主要技术与性能指标,有机薄膜太阳能电池/OLED沉积设备,极限压力:≤6×10^(−5) Pa,样品尺寸:最大10 cm,具有掩膜互换功能主要应用,用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备,可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研或小批量制备。

关 键 词：薄膜材料 极限压力 无机薄膜 新型薄膜 半导体膜 金属膜 批量制备 功能膜 

分 类 号：Q915[天文地球—古生物学与地层学]