光谱椭圆偏振仪  

Multifunctional Spectroscopic and Imaging Ellipsometer

出　　处：《中国科学院院刊》2023年第S01期56-56,共1页Bulletin of Chinese Academy of Sciences

摘　　要：主要技术与性能指标,光谱椭偏测试波长范围:190-2100 nm,成像椭偏光源波长:635 nm,入射角度10°-80°,角度调节精度≥±0.005°,起偏器旋转角度范围:0°-360°,检偏器旋转角度范围:0°-90°,旋转精度优于±0.01°主要应用,可实现纳米超薄膜、单层/少数层二维材料。

关 键 词：检偏器 起偏器 光谱椭偏 椭圆偏振仪 旋转角度 波长范围 二维材料 入射角度 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]