离子溅射仪  

Ion Sputtering Coater

出　　处：《中国科学院院刊》2023年第S01期57-57,共1页Bulletin of Chinese Academy of Sciences

摘　　要：主要技术与性能指标,玻璃腔室:内径Ф100 mm×高度130 mm,试样台尺寸:内径Ф40 mm,可同时放6个Ф13,样品杯靶材尺寸:Ф58 mm×(0.1-0.2)mm主要应用,材料的微观表征、失效分析、半导体检测、生命科学研究等显微观测时导电膜制备,增加导电性,以及二次电子产额等;在电化学等方面,给予电极制备,材料亲水性处理等。

关 键 词：微观表征 电极制备 样品杯 导电膜 生命科学研究 显微观测 失效分析 二次电子产额 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]