轮廓测量仪  

Profilometer

出　　处：《中国科学院院刊》2023年第S01期73-73,共1页Bulletin of Chinese Academy of Sciences

摘　　要：主要技术与性能指标,测量口径:Ø200-Ø1000mm,轮廓测量精度:100-200 nm(PVr),测量光斑尺寸:≤10μm,非接触测头分辨率:10 nm(1 nm可选),直线轴分辨率:≤1 nm,适用轮廓类型:平面、球面、锥面、非球面等主要应用,主要用于平面、球面、锥面、非球面等光学元件。

关 键 词：非球面 光学元件 轮廓测量 光斑尺寸 非接触测头 直线轴 性能指标 锥面 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]