真空退火炉软水冷却系统改造方案设计  

作　　者：张宏军 王文博 刘杰 席波涛 陈鑫 王正 

机构地区：[1]西安西部新锆科技股份有限公司,陕西西安710299

出　　处：《设备管理与维修》2023年第13期130-134,共5页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：板材卧式真空退火炉作业时,设备要求扩散泵及电极冷却水回水温度≤55℃,但实际冷却水回水温度会持续上升,不能满足设备安全使用要求,存在安全隐患。研究分析真空退火炉升温工艺,设计一种有效实验方法,对冷却水系统的水温、流量进行测试,并对测试数据进行比对分析,采用理论计算与实际测算相结合的方法,设计计算出电极及扩散泵冷却循环系统的制冷功率。

关 键 词：冷却系统 方案设计 测试记录 升温功率 

分 类 号：TQ085[化学工程]