第二十二讲化学气相沉积(CVD)技术  

作　　者：张以忱[1] 

机构地区：[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》2023年第4期85-88,共4页Vacuum

摘　　要：(6)电控系统。电控系统由立式电控柜、高低真空量规、数显复合真空计及欧陆温控仪组成,主要用于真空系统的检测和控制、温度的实时测量和控制。可实现30段程序控温,控温精度±2℃,并能做到真空和加热的连锁控制,设备的灵敏性和可靠性高。

关 键 词：复合真空计 连锁控制 控温精度 程序控温 温控仪 电控柜 真空系统 电控系统 

分 类 号：O484[理学—固体物理] TB43[理学—物理]