真空氦漏孔校准方法的研究  

Research on Calibration Method of the Vacuum Helium Leak

作　　者：刘贝贝 蒋厚庸 刘燚 周宇仁 Liu Beibei;Jiang Houyong;Liu Yi;Zhou Yuren(Shanghai institute of Measurement and Testing Technology,Shanghai 200433)

机构地区：[1]上海市计量测试技术研究院,上海200433

出　　处：《中国仪器仪表》2023年第6期48-51,共4页China Instrumentation

基　　金：基于真空衰减法的阳性样品校准装置的研制(E00RY2210)。

摘　　要：本文介绍了一种不带氦气源的真空氦漏孔的校准方法,可实现-100~1000kPa压力、(10^(-10)~10^(-4))Pa.m^(3)/s漏率范围内的真空氦漏孔的校准,扩展不确定度U_(rel)=10%(k=2)。适用于真空氦漏孔日常的校准工作。A calibration method of vacuum helium leak without helium source is introduced,which can be used to calibrate vacuum helium leaks in the range of-100~1000kPa and(10^(-10)~10^(-4))Pa·m^(3)/s.The expanded uncertainty is U_(rel)=10%(k=2).It is suitable for the daily calibration of vacuum helium leaks.

关 键 词：真空氦漏孔 漏率 氦质谱检漏仪 

分 类 号：TB774[一般工业技术—真空技术]