湿法腐蚀清洗设备废气排放过程中的流场优化  

作　　者：谢振民 黄鑫亮 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176

出　　处：《清洗世界》2023年第7期50-52,共3页Cleaning World

摘　　要：湿法腐蚀清洗设备对废气的排放有很高的要求,排放的好坏直接关系到操作人员安全、厂务能源的消耗以及成品率。本文主要通过ANSYS对设备内的流场进行研究分析。首先,建立流场数值模型和几何模型并对流场进行数值计算。然后,改变化学槽废气的流速分析流场特性,并提出抑制废气循环流动解决方案。

关 键 词：湿法腐蚀清洗设备 ANSYS 流场分析 废气排放 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]