大口径光学元件环形抛光技术与工艺  

作　　者：龚云辉 周旭环 王光伟 吴绍华 郭春荣 郭保康 卿德友 成霞 张俊贤 

机构地区：[1]云南北方光学科技有限公司,云南昆明650217

出　　处：《云光技术》2023年第2期1-6,共6页

摘　　要：针对环形抛光工艺存在的表面面形精度不可控、工艺不稳定、操控性差的技术问题,采用环形抛光新方法,开展了大口径光学元件的预抛光、精抛光及精密检测技术与工艺研究。采用2m快速抛光机解决预抛光处理,为精抛光提供可靠面形保证。采用2 m智能环形抛光机解决精抛抛光加工技术,提高表面面形精度质量,具备批量生产能力、生产效率高。使用环形抛光技术对直径250~300 mm的大口径光学元件进行加工,表面面形精度RMS<λ/60。与传统抛光技术相比,环形抛光技术可以获得更好的表面面形精度。

关 键 词：大口径光学元件 环形抛光技术 表面面形精度 精密检测 

分 类 号：TG5[金属学及工艺—金属切削加工及机床]