浅谈大型电子厂房洁净室华夫板结构平整度控制技术  

作　　者：赵强 王建芳 

机构地区：[1]中国化学工程第十四建设有限公司,江苏南京210044

出　　处：《石油化工建设》2023年第8期102-104,115,共4页Petroleum and Chemical Construction

摘　　要：基基于宝鼎(杭州)乾芯半导体集成电路厂房洁净室建造经验,详细阐述了大型电子厂房华夫板平整度控制的关键工艺,能够有效保证华夫板施工质量完全达到“内实外光”的要求。

关 键 词：大型电子厂房 洁净室 华夫板结构 平整度控制 

分 类 号：TU741.1[建筑科学—建筑技术科学] TQ082[化学工程]