石墨烯薄膜的制备及其在电子材料中的应用  

Preparation of Graphene Thin Films and Applications in Electronic Materials

作　　者：陈建丽[1] CHEN Jianli(School of Robotics,Guangdong Vocational College of Science and Technology,Guangdong 519090,China)

机构地区：[1]广东科学技术职业学院机器人学院,广东519090

出　　处：《电子技术（上海）》2023年第10期20-21,共2页Electronic Technology

基　　金：广东省普通高校特色创新类项目(2022KTSCX254);广东省普通高校工程技术中心项目(2021GCZX018);广东科学技术职业学院教育教学改革研究与实践项目(JG202221)。

摘　　要：阐述石墨烯薄膜制备技术的特点,包括微机械剥离、金属表面沉积、液相剥离、化学气相沉积技术,探讨石墨烯薄膜在高频电子器件、集成电路、光电探测器、光调制器、透明导电材料中的应用。This paper describes the characteristics of graphene thin film preparation technology,including micro mechanical peeling,metal surface deposition,liquid phase peeling,and chemical vapor deposition technology.It explores the applications of graphene thin films in high-frequency electronic devices,integrated circuits,photodetectors,light modulators,and transparent conductive materials.

关 键 词：石墨烯薄膜 制备技术 电子材料 

分 类 号：TN04[电子电信—物理电子学]