扫描电镜示值误差影响因素研究  

作　　者：李庆贤 

机构地区：[1]方圆校准检测科技(福建)研究院有限公司

出　　处：《中国计量》2023年第12期94-97,共4页China Metrology

摘　　要：扫描电子显微镜测长示值误差的校准是对经过溯源的栅格标准样板进行测量计算得到的,在使用扫描电子显微镜测量时要选择一定的加速电压、工作距离和放大倍数,这些电镜测量参数的改变会得到不同的校准结果。文章对这3个影响因素进行了不同的试验研究,结果表明随着测量距离和放大倍数的增大,测长示值误差都有增大趋势,最大变化量为1.27%和0.74%;随着加速电压的增大,测长示值误差会有减小的趋势,最大变化量为0.36%。研究结果为扫描电子显微镜的实际校准工作以及微纳尺度的测量应用提供了参考。

关 键 词：扫描电子显微镜 放大倍数 测量距离 加速电压 计量校准 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]