ASM2000外延设备加热系统运行状态的研究  

作　　者：徐卫东 肖健 宋占阳 何晶 

机构地区：[1]南京国盛电子有限公司,江苏南京211111

出　　处：《轻工科技》2024年第1期67-69,共3页Light Industry Science and Technology

摘　　要：本文研究一种关于ASM2000设备加热系统运行状态的方法,针对机台只有加热灯管损坏后才有报警的机制,提出一种基于PLC的灯管电阻监控方法,可以监测灯管的运行趋势。利用灯丝电阻的变化,来反应灯管的运行状态,由于电阻受温度影响较大,所以选在处理基座的时间采集数据。实验结果表明,同在处理基座的时候,机台间差异最小,且电阻处于整个外延过程的峰值,在灯管更换周期内,具有明显的趋势变化,在极限实验下,灯管损坏的前一周内,电阻有急剧下降趋势直至某一刻损坏。本研究方法可以在保证质量的前提下,最大限度地使用加热备件。

关 键 词：ASM2000外延炉 加热系统 灯管 电阻 运行状态 

分 类 号：TM923.31[电气工程—电力电子与电力传动]