准分子激光器用铜电极研究进展  

Research Progress of Copper Electrodes for Excimer Lasers

作　　者：阚金锋 吕成伟 马放 齐石磊 张旭 Kan Jinfeng;Lv Chengwei;Ma Fang;Qi Shilei;Zhang Xu(Beijing RSLaser Opto-Electronics Technology Co.,Ltd,Beijing 100176,China)

机构地区：[1]北京科益虹源光电技术有限公司,北京100176

出　　处：《有色金属加工》2024年第1期32-37,共6页Nonferrous Metals Processing

摘　　要：文章通过分析准分子激光器用电极的腐蚀机理,重点介绍了铜合金电极在材料设计、组织调控和结构优化等方面的研究进展,并最终指出了准分子激光器用铜电极的改进方向。By analyzing the corrosion mechanism of excimer laser electrodes,this paper focuses on the research progress of copper alloy electrodes in material design,microstructure control and structure optimization,and finally points out the improvement direction of copper electrodes for excimer laser.

关 键 词：铜合金电极 准分子激光器 腐蚀机理 氟腐蚀行为 

分 类 号：TG146.1[一般工业技术—材料科学与工程]