一种钨金属纳米探针的制备方法  

作　　者：陆畅 杨冰(指导) 

机构地区：[1]重庆市第八中学校,重庆401120

出　　处：《物理通报》2024年第3期159-161,共3页Physics Bulletin

基　　金：重庆市教育科学2023年度规划课题“U-S-S合作模式下物理大单元教学区域推进实践研究”的阶段性研究成果,课题编号:K23YG1110040。

摘　　要：金属探针在半导体芯片性能测试及生物医学研究中被广泛应用.基于电化学腐蚀方法,设计搭建了一套简易制备探针针尖的装置,利用电化学腐蚀的方式实现了钨探针针尖的制备.运用控制变量法研究了腐蚀电压与时间对钨探针的影响.该方法简单便捷实用,能满足科研实验室快速制备钨探针的需求.

关 键 词：电化学腐蚀 钨丝 纳米探针 交流电 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学] O657.1[理学—分析化学] TB383.1[理学—化学]