检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:徐国锋 王正平[1] 王树贤[1] 武奎[1] 梁飞[1] 路大治 张怀金[1] 于浩海[1]
机构地区:[1]山东大学晶体材料研究院,晶体材料国家重点实验室,济南250100
出 处:《人工晶体学报》2024年第4期739-739,共1页Journal of Synthetic Crystals
摘 要:深紫外激光是半导体领域的关键光源。基于非线性频率变换的全固态深紫外激光具有结构紧凑、价格低廉等优势,有广泛需求。受限于晶体非线性系数较线性介电常数小数个数量级,深紫外激光通常以具有高峰值(千瓦级)的脉冲形式获得,连续波深紫外激光效率较低,其实用化极其困难。高峰值的紫外激光通常会对半导体表面及内部产生损伤,限制了半导体晶圆缺陷等装备的应用和发展。
关 键 词:半导体领域 半导体表面 连续波 深紫外激光 非线性系数 半导体晶圆 脉冲形式 介电常数
分 类 号:TN248[电子电信—物理电子学] TN307
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