磁控溅射法制备电致变色器件的研究进展  

作　　者：谢意含 杨小天[1] 胡小军 张祺 黄林茂 

机构地区：[1]吉林建筑大学电气与计算机学院,吉林长春130118

出　　处：《光源与照明》2024年第1期56-58,共3页Lamps & Lighting

基　　金：吉林省科技发展计划项目(20220201068GX)。

摘　　要：电致变色材料在外部施加电压的作用下可实现光学特性的可逆性转换,基于此原理设计的电致变色器件因其优异的低功耗特性得到了广泛应用。在电致变色器件的制备工艺中磁控溅射技术因其工艺成熟,操作简单,镀膜质量好等优势成为研究者们制备电致变色器件的首选。文章简述了磁控溅射技术的原理与分类、电致变色器件的结构与原理,总结了近年来磁控溅射技术在电致变色器件制备过程中的应用。

关 键 词：磁控溅射技术 电致变色器件 薄膜制备 

分 类 号：TB34[一般工业技术—材料科学与工程]