工业半导体厂房净化空调系统设计与应用研究  

Design and application of purification air conditioning system in industrial semiconductor plant

作　　者：刘辉 

机构地区：[1]中清睿(厦门)环境科技有限公司,福建厦门361000

出　　处：《电子产品世界》2024年第3期44-47,55,共5页Electronic Engineering & Product World

摘　　要：工业半导体厂房对温度、湿度、空气洁净度提出了较高的要求,需要通过净化空调系统控制核心生产区域的环境参数。探讨了净化空调系统的设计方案,构建了节能评价指标体系,并分析了各个子系统的节能应用效果。结果显示:工业半导体厂房净化空调系统由水系统、风系统、热源系统组成;净化空调系统的整体节能效果较好。在实际应用管理中,可通过建立节能评价指标监控系统,确定高能耗节点,从而制定节能优化措施。

关 键 词：工业半导体厂房 净化空调系统设计 节能应用 

分 类 号：TU831.31[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]