橡胶半导体高灵敏度大应变传感器  

作　　者：李亮(编译) 

机构地区：[1]西北橡胶塑料研究设计院有限公司,陕西咸阳712023

出　　处：《橡胶参考资料》2024年第3期31-37,共7页

摘　　要：由于在可穿戴电子产品、健康监测、人机界面(HMI)和软机器人等领域的潜在应用,及对与人类、机器和机器人等的活动相关的大机械变形和应变的量化需求不断增长,推动了可拉伸应变传感器的发展,这类传感器具有大应变、高灵敏度、低滞后和良好的线性特性。通常,应变传感器将机械应变转化为其他物理参数,如电阻、电容、光学波长等,这些参数可以直接测量。广泛应用的应变传感器包括应变计和光纤应变传感器等。应用最广泛的应变传感器类型之一,是机械、生物医学、假体、健康监测应用中最广泛采用的装备,主要基于输出导体的电阻变化或半导体的压阻效应。具体来说,仪表系数(GF)用于定义应变传感器的灵敏度,一般来说,导体如金属箔应变计具有相对较低的GF(<5),而半导体压阻电阻如单晶硅表现出更高的GF(<200)。然而,半导体类传感器由于导体和半导体的弹性极限都很低(<3%)的内在限制,在存在较大机械变形(例如拉伸约100%)的情况下使用受限。

关 键 词：应变传感器 压阻效应 机械变形 健康监测 应变计 仪表系数 电阻变化 弹性极限 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]