RPA技术在半导体智能制造系统中的设计应用  

作　　者：沈瑾 章熙峰 

机构地区：[1]无锡科技职业学院,江苏无锡214001 [2]无锡华润微电子有限公司,江苏无锡214000

出　　处：《智能制造》2024年第3期45-49,共5页Intelligent Manufacturing

摘　　要：机器人流程自动化技术多应用于财务、金融、人力资源及银行等行业。本文介绍了RPA技术在半导体制造业中的系统设计应用,结合OCR技术、KVM技术,搭载RCM远程控制平台实现了老旧机台的自动化改造升级,节省了人力,大大减少了出错率,已成功用于某半导体企业6英寸产线使用中,取得了良好的经济效益。

关 键 词：机器人流程自动化 光字符识别 远程控制管理 KVM 半导体 

分 类 号：TP278[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]