MEMS麦克风综述  

Overview of MEMS Microphone

作　　者：宋辰阳 李建友 李根梓 

机构地区：[1]雁栖湖基础制造技术研究院(北京)有限公司

出　　处：《机械工业标准化与质量》2024年第1期44-49,共6页Machinery Industry Standardization & Quality

基　　金：国家重点研发计划项目《基于标准的先进封测平台建设及应用》课题资助,课题编号:2022YFB3207105。

摘　　要：针对快速发展的MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)麦克风器件,本文章介绍了MEMS麦克风的发展历史及国内外研究现状,分析了MEMS麦克风相较于其它类型麦克风的优势,比较了MEMS麦克风的不同类型,回顾了MEMS麦克风的三次应用浪潮,展望了MEMS麦克风的发展趋势,并对MEMS麦克风的标准化提出建议。

关 键 词：微机电系统(MEMS) MEMS麦克风 MEMS麦克风的标准化 

分 类 号：TN641[电子电信—电路与系统]