氮化硅陶瓷的烧结工艺及其半导体应用进展  

作　　者：王天倚 王红宇 何亮 王浩[1] 

机构地区：[1]吉林建筑大学,吉林长春130118

出　　处：《吉林广播电视大学学报》2024年第2期61-63,共3页Journal of Jilin Radio and TV University

摘　　要：氮化硅陶瓷是一种具有特殊的结构以及很好的热学性能与力学性能的陶瓷材料。本文综述了氮化硅陶瓷的主要烧结方法,并总结展望了氮化硅陶瓷的未来发展前景。

关 键 词：氮化硅陶瓷 烧结方法 氮化硅基板 

分 类 号：TQ174[化学工程—陶瓷工业]