特种气体系统双层不锈钢管道施工技术  

作　　者：胡金鑫 

机构地区：[1]陕西建工安装集团有限公司,西安710000

出　　处：《陕西建筑》2024年第7期73-77,共5页Shaanxi Architecture

摘　　要：本文通过近年来,我国在半导体、太阳能光伏电池、平板显示器、化合物半导体等生产过程均需要应用多种特种气体,如太阳能电池板使用的SIH4气体,在PECVD技术制备薄膜中应用,主要借助微波或射频等使SIH4和NH3气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在电池板上沉积出所期望的薄膜。由于SIH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气引起剧烈的反应,开始燃烧,任何细微的泄漏都能可能造成人员生命的危害,所以对于一些危险性特种气体系统设计安全性的要求就特别高。为此在电子工厂较多的采用双层管道输送这类具有自燃性、剧毒性和强腐蚀性气体特种气体,通过双层不锈钢管道施工技术为类似工程提供借鉴。

关 键 词：特种气体 双层不锈钢管道 泄漏 焊接 施工技术 

分 类 号：TU74[建筑科学—建筑技术科学]