浅谈半导体制造设备点检的必要性  

作　　者：赵军民 

机构地区：[1]北京微电子技术研究所,北京100076

出　　处：《设备管理与维修》2024年第13期9-12,共4页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：半导体制造设备的稳定性对集成电路生产至关重要,因此及时发现并消除设备隐患,提高设备的稳定性和可靠性尤为重要。在设备管理方面,点检是发现设备隐患的有效手段之一。

关 键 词：半导体制造设备 稳定性 设备管理 点检 

分 类 号：TN305.99[电子电信—物理电子学] F425[经济管理—产业经济]