区熔法拉制硅芯的生产工艺及质量控制  

作　　者：刘虎 魏强 杜斌功 

机构地区：[1]青海黄河水电公司新能源分公司,青海西宁810000 [2]青海省新能源材料与储能技术重点实验室,青海西宁810000

出　　处：《产业创新研究》2024年第14期87-89,共3页Industrial Innovation

摘　　要：目前,多晶硅的主要生产工艺为改良西门子法,该工艺中硅芯作为硅沉积的载体,其品质对棒状硅的质量有着较大的影响。本文详细阐述了区熔法拉制的硅芯从拉制阶段直至装炉的全部工序,将其分为拉制阶段、机械加工阶段、清洗干燥阶段以及包装阶段四个阶段,并分阶段详细分析了各工序中影响硅芯质量的因素进行了探讨。

关 键 词：圆硅芯 区熔 硅芯质量 工艺 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]