工艺循环冷却水开式系统设计与应用  

Design and application of process circulating cooling water open system

作　　者：赵立德 Zhao Lide

机构地区：[1]中国电子系统工程第四建设有限公司,北京100070

出　　处：《水务世界》2024年第3期52-54,共3页Water Field

摘　　要：在半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造等电子厂房设计时,为对工艺设备进行降温,必不可缺的需要设计工艺循环冷却水系统。工艺循环冷却水系统分为开式系统和闭式系统,文章对工艺循环冷却水开式系统进行分析,通过对工艺循环冷却水的工作原理、系统组成、系统设计等内容的介绍与项目经验的总结,以期为工艺循环冷却水系统设计提供参考。

关 键 词：半导体 工艺循环冷却水 开式系统 

分 类 号：TP3[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]