面板制程中T-M1-FimBroken影响的分析与研究  

作　　者：王颖 种鹏昆 

机构地区：[1]彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司,合肥230012

出　　处：《建筑玻璃与工业玻璃》2024年第7期18-21,共4页Architectural Glass and Functional Glass

摘　　要：0引言在TFT-LCD玻璃基板后加工过程中,面板生产加工的所有制程都依赖于玻璃基板表面,因此玻璃基板的品质对面板工艺以及品质有重要的影响。T-M1-FimBroken(破膜)是面板生产过程中影响良率的一个主因,而造成这一主因发生的是面板的原料液晶基板玻璃出现了问题,因此研究范围定义在液晶基板玻璃的后加工制造。

关 键 词：玻璃基板 良率 对面板 范围定义 加工过程 加工制造 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]